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露點(diǎn)傳感器芯片
露點(diǎn)傳感器芯片是一種新型的露點(diǎn)傳感器,測(cè)量原理是電學(xué)原理,即“結(jié)露”前后芯片上薄膜交指電容器介質(zhì)的有效介電常數(shù)明顯不同,電容量差別很大。由于這種芯片很小、很薄,可以使用半導(dǎo)體致冷器為冷源,因此體積很小,而且溫度控制靈敏、測(cè)量周期短,用它可以制造出便攜式、高精度、在線式的露點(diǎn)測(cè)量?jī)x表。相比之下,傳統(tǒng)的冷鏡式露點(diǎn)傳感器根據(jù)的是光學(xué)原理,在“結(jié)露”后,鏡面對(duì)光的反射能力明顯減弱。由于它存在光路系統(tǒng),因此結(jié)構(gòu)復(fù)雜,而且一般使用液氮或干冰作為冷源,因此,需要有相應(yīng)的蒸發(fā)器,不僅體積較大,操作復(fù)雜,而且溫度很難**控制。
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