應(yīng)變計的結(jié)構(gòu)與分類
電阻應(yīng)變式傳感器中用的應(yīng)變計有哪幾種,有哪些分類,此篇文章將介紹這些。u 應(yīng)變計:將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻變化的傳感元件
u 結(jié)構(gòu):電阻應(yīng)變片種類繁多,但基本構(gòu)造大體相同
圖示為其構(gòu)造簡圖:排列成網(wǎng)狀的高阻金屬絲、柵狀金屬箔或半導(dǎo)體片構(gòu)成的敏感柵, 用粘合劑貼在絕緣的基片上。敏感柵上貼有蓋片(即保護(hù)片)。
u 應(yīng)變計的分類
u 按尺寸分:
u 按結(jié)構(gòu)形式分:單片、雙片及各種特殊形狀的圖案
u 按使用環(huán)境分:高低溫、核輻射、高雅、磁場的等
u 按安裝形式分:粘貼、非粘貼、焊接、火焰噴涂
u 按材料分:金屬式、半導(dǎo)體式
對金屬:
u 金屬絲式應(yīng)變片:
u 金屬箔式應(yīng)變片:
u 薄膜應(yīng)變片:
對半導(dǎo)體:
u 體型應(yīng)變片:
u 擴(kuò)散型應(yīng)變片:
u 薄膜型應(yīng)變片:
u 外延型應(yīng)變片:
u PN結(jié)及其它
金屬絲式應(yīng)變片:有U型、V型、H型 a
金屬絲彎曲部分成圓?。║)形,是*早常用的一種形式,制作簡單但橫向效應(yīng)較大
金屬絲彎曲部分成圓?。║)形,是*早常用的一種形式,制作簡單但橫向效應(yīng)較大
應(yīng)變計的結(jié)構(gòu)與分類
金屬箔式應(yīng)變片:
箔式應(yīng)變計的線柵是通過光刻、腐蝕等工藝制成很薄的金屬薄柵(厚度一般在0.003~0.01mm)
薄膜應(yīng)變片:
薄膜式應(yīng)變計是采用真空濺射或真空沉積技術(shù),在薄的絕緣基片上蒸鍍金屬電阻薄膜(厚度在納米量級),再加上保護(hù)層制成
優(yōu)點(diǎn):靈敏度高;允許通過的電流密度大;工作溫度范圍廣(可工作于-197~317℃),也可用于核輻射等特殊情況下。
敏感元件常用的材料:康銅(銅鎳合金)、鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金、鐵鎳鉻合金等,常溫下使用的應(yīng)變計多由康銅制成。
應(yīng)變計的結(jié)構(gòu)與分類
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金屬絲彎曲部分成直角(H)形,兩端用較粗的鍍銀銅線焊接,橫向效應(yīng)較小,制作工藝復(fù)雜(將逐漸被橫向效應(yīng)小、性能更優(yōu)越的箔式應(yīng)變計所代替)
金屬絲彎曲部分成直角(H)形,兩端用較粗的鍍銀銅線焊接,橫向效應(yīng)較小,制作工藝復(fù)雜(將逐漸被橫向效應(yīng)小、性能更優(yōu)越的箔式應(yīng)變計所代替)