全部產(chǎn)品分類
  • 梅格牌-上海第六電表廠
  • SANXIN三信
  • Setra西特
  • LEEG立格
  • 測力計/數(shù)字測力計/試驗(yàn)機(jī)臺
  • 紅外線測溫儀/紅外測溫儀/測溫...
  • 紫外線燈
  • 硬度計/里氏硬度計
  • 煙氣分析儀/氣體檢測儀
  • 照度計/數(shù)字式照度計
  • 噪音計/聲級計
  • 日本理音(RION)NL-21...
  • 臺灣群特center噪音計/聲...
  • 優(yōu)利德噪音計
  • 臺灣泰仕TES-1358實(shí)時音...
  • 超聲波探傷儀/磁粉探傷儀
  • 超聲波測厚儀
  • 測振儀/振動分析儀
  • 數(shù)字溫度計/接觸式溫度計
  • 溫濕度計/溫濕度儀記錄儀
  • 日置溫度/濕度記錄儀
  • 衡欣溫濕度記錄器
  • 德圖溫濕度儀
  • 德圖溫濕度記錄儀/溫度記錄儀
  • 溫度記錄儀
  • 指針溫濕度表
  • 泰仕溫濕度計
  • 群特溫濕度儀
  • 水分測定儀
  • 數(shù)字溫濕度表
  • 固定紅外測溫儀/雷泰測溫儀
  • 轉(zhuǎn)速表/頻閃儀
  • 激光測距儀/測繪儀器
  • 天平/電子天平/精密天平
  • 電火花檢測儀
  • 涂層測厚儀/氧化膜測厚儀
  • 數(shù)碼顯微鏡/酒精測試儀
  • 粗糙度儀/光潔度儀
  • 水質(zhì)分析儀器
  • 企業(yè)信息
    17
    • 入駐時間: 2006-09-21
    • 聯(lián)系人:孫靜
    • 電話:400-006-1718
    • 聯(lián)系時,請說明易展網(wǎng)看到的
    • Email:937332326@qq.com
    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:大流量液體汽化控制系統(tǒng) LE系列

    • 產(chǎn)品型號:
    • 產(chǎn)品廠商:日本HORIBA
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
    你添加了1件商品 查看購物車
    簡單介紹:
    流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列 載氣,直接注入型 概要 Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng),基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計,和高效熱傳導(dǎo)材料的使用,LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化,可防治液體凝結(jié)。操作溫度上限可達(dá)300℃,IPA汽化量可達(dá)30g/min(或等量)。*常見的使用有在太陽能電池制程中,可以用LE實(shí)現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中,可以用LE實(shí)現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。
    詳情介紹:

    商品詳情

    大流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列

    載氣,直接注入型

    概要

          Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng),基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計,和高效熱傳導(dǎo)材料的使用,LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化,可防治液體凝結(jié)。操作溫度上限可達(dá)300℃,IPA汽化量可達(dá)30g/min(或等量)。*常見的使用有在太陽能電池制程中,可以用LE實(shí)現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中,可以用LE實(shí)現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。

    特征

    • *大汽化率
    • *新的噴射器嘴確保持續(xù)不斷穩(wěn)定汽化
    • 全不銹鋼設(shè)計,*大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產(chǎn)
    • 支持多種液體源汽化

    規(guī)格

    規(guī)格參數(shù)

     
    已應(yīng)用液體源 H2O / IPA / TEOS / SICL4
      更多的液體源汽化信息請與公司聯(lián)系
    *大汽化量(氣體流量) H2O : 10g/min (12.4 SLM)
      IPA : 30g/min (11.1 SLM)
      TEOS : 50g/min(5.3 SLM)
      SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM)
     

    液體源汽化系統(tǒng)

    HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式:直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵守半導(dǎo)體市場不斷更新的要求。我們利用**監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品,比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應(yīng)用于液體流量計的冷卻法,以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
    HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應(yīng)的液體流量控制器和液體流量計。

    HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗(yàn)

    Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
    Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
    Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
    HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
    Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
    PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
    SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
    TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
    TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
    Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA
     
    標(biāo)題:
    內(nèi)容:
    聯(lián)系人:
    聯(lián)系電話:
    Email:
    公司名稱:
    聯(lián)系地址:
     
     
    注:1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
    2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
    相關(guān)文章