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    • 企業(yè)信息
    第17年
    • 入駐時間： 2006-09-21
    • 聯(lián)系人：孫靜
    • 電話：400-006-1718
    • 聯(lián)系時，請說明易展網(wǎng)看到的
    • Email：937332326@qq.com
    產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：大流量液體汽化控制系統(tǒng) LE系列

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：日本HORIBA
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列 載氣，直接注入型 概要 Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng)，基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計，和高效熱傳導(dǎo)材料的使用，LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結(jié)。操作溫度上限可達(dá)300℃，IPA汽化量可達(dá)30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實(shí)現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實(shí)現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。
    詳情介紹：

    商品詳情

    大流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列

    載氣，直接注入型

    概要

          Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng)，基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計，和高效熱傳導(dǎo)材料的使用，LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結(jié)。操作溫度上限可達(dá)300℃，IPA汽化量可達(dá)30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實(shí)現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實(shí)現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。

    特征

    • *大汽化率
    • *新的噴射器嘴確保持續(xù)不斷穩(wěn)定汽化
    • 全不銹鋼設(shè)計，*大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產(chǎn)
    • 支持多種液體源汽化

    規(guī)格

    規(guī)格參數(shù)

     
    已應(yīng)用液體源 H2O / IPA / TEOS / SICL4
      更多的液體源汽化信息請與公司聯(lián)系
    *大汽化量（氣體流量） H2O : 10g/min (12.4 SLM)
      IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
      TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
      SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）
     

    液體源汽化系統(tǒng)

    HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵守半導(dǎo)體市場不斷更新的要求。我們利用**監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應(yīng)用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
    HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應(yīng)的液體流量控制器和液體流量計。

    HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗(yàn)

    Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
    Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
    Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
    HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
    Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
    PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
    SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
    TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
    TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
    Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA
     
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