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    • 企業(yè)信息
    第17年
    • 入駐時(shí)間： 2006-09-21
    • 聯(lián)系人：孫靜
    • 電話：400-006-1718
    • 聯(lián)系時(shí)，請說明易展網(wǎng)看到的
    • Email：937332326@qq.com
    產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：MV-2000混合注入型液體汽化器 用于易熱解的液體

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：日本HORIBA
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵守半導(dǎo)體市場不斷更新的要求。我們汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應(yīng)用于液體流量計(jì)的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。 HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應(yīng)的液體流量控制器和液體流量計(jì)。 HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗(yàn)
    詳情介紹：

    商品詳情

    混合注入型液體汽化器 MV-2000

    用于易熱解的液體

     

    概要

            Horiba汽化器 MV-2000系列實(shí)現(xiàn)高效的汽化，即使在低溫情況下也可通過螺旋式加熱達(dá)到汽化效果。此種汽化方式適用于半導(dǎo)體制造工藝，諸如“High-k”——一種易熱解的液體源

    特征

    • 以螺旋加熱式完成穩(wěn)定的低溫汽化
    • 大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
    • 可汽化易熱解的液體源
    •  
    技術(shù)參數(shù)
    型號 MV-2000
    液體名稱 所有液體，除對不銹鋼有腐蝕的(如. HCl, HF)
    設(shè)定溫度 取決于汽化條件(控制閥 : 上限140 ?C ，汽化器 : 上限200 ?C)
    泄露率 ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
    內(nèi)部泄露率 ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
    接液材質(zhì) SUS316L , PFA
    溫度傳感器 Thermocouple type K (CA)
    耐壓 1MPa (G)
    接口尺寸 液體入口: 1/8”MVCR
    載氣入口: 1/4 FVCR
    氣體出口: 1/2 MVCR
    操作溫 15 - 50 ?C
    可選項(xiàng) 閥門(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
    1. 汽化器產(chǎn)生的氣體流量取決于液體的特性，汽化條件等多種參數(shù)。
    2. 汽化器內(nèi)有加熱器、溫度傳感器、溫度開關(guān)。
     
     

    液體源汽化系統(tǒng)

              HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵守半導(dǎo)體市場不斷更新的要求。我們利用監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應(yīng)用于液體流量計(jì)的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
    HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應(yīng)的液體流量控制器和液體流量計(jì)。

    HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗(yàn)

    Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
    Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
    Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
    HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
    Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
    PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
    SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
    TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
    TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
    Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA
    標(biāo)題：
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